Vákuumos fémező berendezések

Biztonságosak a PVD bevonatok?

A fizikai gőzleválasztási eljárások egy környezetbarát vagy „bevonatolási” technika, amely nagymértékben csökkenti a felhasználandó, kezelendő és ártalmatlanítandó mérgező anyagok mennyiségét, összehasonlítva más „nedves” eljárásokkal, amelyek folyékony prekurzorokat és kémiai reakciókat foglalnak magukban az azonos eredmény eléréséhez. . Mivel rendkívül tiszta, tiszta és tartós bevonatok előállítására képes, a fizikai gőzleválasztás a sebészeti és orvosi implantátumipar által választott technológia.

Tudod mi az a bevonógép? Főleg egy olyan bevonattípusra vonatkozik, amelyet nagy vákuum alatt kell elvégezni, beleértve sokféle típust, beleértve a vákuumion elpárologtatást, a magnetronos porlasztást, az MBE molekuláris sugár-epitaxiát, a PLD lézeres porlasztásos leválasztást és még sok mást.

A vákuumrendszer tartalmaz egy mechanikus szivattyút, egy kriogén szivattyút, egy nagyoló szelepet, egy foreline szelepet, egy tolózárat és egy vákuummérőt a vákuumérzékeléshez. A magnetronos porlasztás során a nitrogén, az oxigén és a vízgőz hatását minimálisra kell csökkenteni, ezért a vákuumfok 0,13 mPa ~ 4 Pa ​​alatt kell legyen. Általában Nowdry szivattyút és kriogén szivattyút használnak. A száraz szivattyú alacsony vákuum szivattyúzására szolgál. Az eredeti mechanikus olajszivattyúval összehasonlítva megakadályozhatja, hogy az olajszivattyúban lévő olaj és gáz bejusson a vákuumkamrába, szennyezze az aljzatot, és csökkentse a film és az aljzat közötti tapadást. Általában, miután a száraz szivattyút 6,5 Pa alá szivattyúzzák, a tolózárat kinyitják, és a kriogén szivattyút nagyvákuum szivattyúzására használják. A kriogén szivattyút nagy szivattyúzási sebesség jellemzi, különösen a vízgőz eltávolításának képessége nagyon erős.

A porlasztó bevonatrendszer egyenáramú tápegységből, célanyagból, hűtővízből, állandó mágnesből, hordozófűtő berendezésből, terelőlemezből, árnyékoló rétegből stb. áll. Ez a magnetron porlasztó állomás központi része. Az egyenáramú tápegység 300-1 000 V negatív nagyfeszültséget biztosít, és ezt a célpontra kapcsolja, így a célpont a katódon, a hordozó pedig az anódon van. A hűtővizet a célanyag hűtésére használják, hogy megakadályozzák a célhőmérséklet túl gyors emelkedését a porlasztás miatt. A hűtővíz vezetéket szigetelő anyagokból, például műanyag csövekből kell készíteni, nem fémcsövekből. A szubsztrátum fűtőberendezése képes eltávolítani a szennyeződéseket, például a vízgőzt a hordozóról, ami javíthatja a film és a hordozó közötti tapadást. Ezenkívül egyes fémek esetében a megfelelő hőmérséklet javíthatja a film minőségét.

Alkalmazás

Paraméter

Cégünk

Népszerű tags: Vákuumos fémező berendezés, Kína, beszállítók, gyártók, gyár, testreszabott, vásárlás, ár, árajánlat