Modern vákuumbevonó gép filmvastagságának mérési és monitorozási módszere

A legközvetlenebb bevonatszabályozási módszer a Quartz Crystal Microbalance Method (QCM), amely közvetlenül meghajtja a párolgási forrást, és a terelőlemezt a PID-szabályozáson keresztül forgatja a párolgási sebesség fenntartása érdekében. Amíg a műszer csatlakozik a rendszervezérlő szoftverhez, képes irányítani a teljes bevonási folyamatot. A (QCM) pontossága azonban korlátozott, részben azért, mert a felvitt bevonat minőségét figyeli, nem pedig az optikai vastagságát.

Továbbá, míg a QCM nagyon stabil alacsonyabb hőmérsékleten, magasabb hőmérsékleten nagyon hőmérsékletérzékenysé válik. Hosszan tartó melegítés során nehéz megakadályozni, hogy az érzékelő erre az érzékeny területre essen, ami jelentős hibákat okoz a filmben.

Az optikai monitorozás a nagy pontosságú bevonatok ellenőrző módszere, mivel lehetővé teszi a rétegvastagság pontosabb szabályozását (ha megfelelően használják). A pontosság javulása számos tényezőből adódik, de a legalapvetőbb ok az optikai vastagság monitorozása.

Az OPTIMAL SWA-I-05 egyhullámú optikai megfigyelő rendszer közvetett mérést és vezérlést alkalmaz, Dr. Wang által kifejlesztett fejlett optikai megfigyelő szoftverrel kombinálva, hogy hatékonyan javítsa az optikai válaszérzékenység elméletét és módszerét a filmvastagság változásaira. csökkenti a végső hibát, biztosítva a visszacsatolási vagy átviteli módok választékát és a megfigyelési hullámhosszok széles skáláját. Különösen alkalmas különböző rétegvastagságok bevonatmegfigyelésére, beleértve a szabálytalan filmellenőrzést is.